В Лаборатория No. 1000-З’ “Фотолитография и Галваника” има следното оборудване:

• Химически камини с аспирация и течащи обикновена, дестилирана и дейонизирана вода, за провеждане на процеси и процедури, използващи опасни течни и газообразни материали, както и за осигуряване на локален микроклимат с контролируеми чистота и температура.
• Микропроекционна установка за фотолитография MPUR-M;
• Установка за съвместяване и експониране AER;
• Металографски микроскоп Neophot-2;
• Координатограф автоматичен Kartimat KSR-4100;
• Установка за съвместяване и експониране Karl Suss;
• Центрофуги за нанасяне на фотолак и сушене на пластини.